评价方法、搜索方法以及搜索系统技术方案

本发明专利技术提供评价方法、搜索方法以及搜索系统。目的在于，提供用于评价截面图像中出现的形状的技术。代表性的本发明专利技术的评价方法之一评价目标形状与电子显微镜图像的截面形状之差，评价方法的特征在于，具有：第一步骤，测定所述截面形状的特征性的尺寸；第二步骤，在所述第一步骤后，作成从所述尺寸得到的所述截面形状中的所述目标形状的模板；和第三步骤，通过归一化的指标来比较所述模板与所述截面形状的差异。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及评价方法、搜索方法以及搜索系统。

技术介绍

1、一般，在制造系统中，与制造相关的数据非常重要，有价值。并且，伴随数据分析的工具以及算法的进步，为了减少我们的作业负担而始终谋求精炼且简单的方法，这对于竞争激烈的商业环境中的积极的成长是重要的。

2、随着收集许多信息，数据的量存在急速扩大的可能性。由此，在分析中需要愈发多的资源以及时间，工艺开发有停滞的倾向。

3、这样的状况也适用于半导体产业。例如，为了评价蚀刻试验的成果，需要利用了显微镜图像的庞大的分析。

4、过去以来，提出显微镜图像的分析方法。例如，专利文献1公开了一种尺寸测量装置，缩短尺寸测量所需的时间，并且将操作人员引起的误差排除。专利文献1中的尺寸测量装置使用遍及截面图像整体来提取加工构造与背景之间的边界线及/或异种材料间的界面的边界线的第1图像识别模型、输出用于按构成重复图案的每个单位图案来区分从第1图像识别模型得到的遍及截面图像整体的边界线的信息的第2图像识别模型，来求取按每个单位图案预先定义的多个特征点的坐标，测量被定义为多个特征点当中的给定的2本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种评价方法，评价目标形状与电子显微镜图像的截面形状之差，

2.根据权利要求1所述的评价方法，其中，

3.根据权利要求2所述的评价方法，其中，

4.根据权利要求2所述的评价方法，其中，

5.一种搜索方法，使用机器学习来搜索用于等离子蚀刻装置的处理结果成为目标形状的蚀刻条件，

6.一种搜索系统，使用机器学习来搜索用于等离子蚀刻装置的处理结果成为目标形状的蚀刻条件，

【技术特征摘要】

1.一种评价方法，评价目标形状与电子显微镜图像的截面形状之差，

2.根据权利要求1所述的评价方法，其中，

3.根据权利要求2所述的评价方法，其中，

4.根据权利要求2所述的评价方...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊萨克·奥布赖恩特，松田航平，土桥高志，杰克·D·奥戈尔曼，斯蒂芬·布莱克，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：