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具有内部间隔体衬垫的集成电路结构制造技术
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下载具有内部间隔体衬垫的集成电路结构的技术资料
文档序号:43909566
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描述了具有内部间隔体衬垫的集成电路结构,以及制造具有内部间隔体衬垫的集成电路结构的方法。例如,集成电路结构包括水平纳米线的堆叠体。栅极结构垂直围绕水平纳米线的堆叠体,水平纳米线的堆叠体横向延伸超过栅极结构。内部栅极间隔体在水平纳米线的堆叠体...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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