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本文公开了一种基板分类器、一种具有所述基板分类器的检查和分类系统以及一种用于所述检查和分类系统的方法。基板分类器包括：环形夹持器，包含旋转器和围绕轴共圆地设置的多个真空施加器；载具，可操作以将基板朝向旋转器移动并且进入旋转器下方的装载区域；...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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