【技术实现步骤摘要】
本公开内容的实施例一般涉及一种高速半导体分类设备以及一种包括这种分类设备的半导体检查系统。更具体地说，本文公开的实施例涉及一种用于对在高速载具上行进的基板进行分类的基板分类器以及其方法。
技术介绍
1、半导体基板在处理之前由计量系统例行检查，以获得基板的特性和缺陷，用于确保严格遵守预定的质量控制标准。计量系统可以提供关于基板的全面数据，诸如物理尺寸、光学性质、电学性质、晶体结构等。在检查完成之后，基板被分类并转移到根据其具体特性而分配的指定容器中。
2、由于基板可以由计量站并行检测，检查的基板的分类和转移可能是计量系统的处理量的限制因素。例如，用于分类和转移检查的基板的旋转分类器采用以走走停停的方式旋转的分度运动。在这种分类器中，拾取臂旋转到拾取区域中，然后停止所述运动以允许由拾取臂拾取基板。一旦基板已经由拾取臂拾取，拾取臂的运动将重新开始，以将拾取臂旋转出拾取区域。然而，开始和停止分度运动限制了通过系统的处理量，并且为提高处置检查的基板的速度提供了重大挑战。
3、此外，开始和停止分度运动需要频繁地加速和减速拾取...
【技术保护点】
1.一种基板分类器，包含：
2.根据权利要求1所述的基板分类器，其中所述多个真空施加器相对于所述轴保持固定。
3.根据权利要求2所述的基板分类器，其中所述多个真空施加器包含在所述装载区域上方设置并且可操作以在所述旋转器围绕所述轴旋转的同时拾取所述基板的第一真空施加器。
4.根据权利要求3所述的基板分类器，进一步包含：
5.根据权利要求2所述的基板分类器，其中所述旋转器是透气的并且包含两个同心部分。
6.根据权利要求5所述的基板分类器，进一步包含：
7.根据权利要求5所述的基板分类器，其中所述致动器...
【技术特征摘要】
1.一种基板分类器，包含：
2.根据权利要求1所述的基板分类器，其中所述多个真空施加器相对于所述轴保持固定。
3.根据权利要求2所述的基板分类器，其中所述多个真空施加器包含在所述装载区域上方设置并且可操作以在所述旋转器围绕所述轴旋转的同时拾取所述基板的第一真空施加器。
4.根据权利要求3所述的基板分类器，进一步包含：
5.根据权利要求2所述的基板分类器，其中所述旋转器是透气的并且包含两个同心部分。
6.根据权利要求5所述的基板分类器，进一步包含：
7.根据权利要求5所述的基板分类器，其中所述致动器包含被构造为与所述两个同心部分接合并且旋转所述两个同心部分的多个辊。
8.根据权利要求7所述的基板分类器，其中所述致动器包含在所述旋转器上方设置并且被构造为支撑所述多个辊的梁。
9.根据权利要求1所述的基板分类器，其中所述多个真空施加器包含对应于基板收集位置的第二真空施加器，使得当所述第二真空施加器的压力升高到阈值量以上时，由所述旋转器保持的所述基板被释放到所述基板收集位置。
10.根据权利要求9所述的基板分...
【专利技术属性】
技术研发人员：阿萨夫·施勒岑杰，马库斯·J·施托佩尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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