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测量晶片倾斜并基于从跨越晶片的一组高度测量导出的经校正倾斜测量来补偿所述晶片倾斜。由测量系统在大数目的晶片位点处产生一组晶片定向校正值。在每一位点处，基于由光学倾斜传感器测量的校准晶片的局部晶片倾斜与从Z测量导出的所述校准晶片的局部斜率的对...
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