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本技术涉及镁靶材清洗技术领域，具体为一种镁靶材清洗装置，包括储水箱，所述储水箱的端面上且位于拐角处安装有支撑柱，四个所述支撑柱的上端通过清洗箱连接，所述清洗箱的底部通过连接孔安装有排水管，所述排水管的下端通过接头连接有连接件，所述连接件的内...
该专利属于河南东微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南东微电子材料有限公司授权不得商用。

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