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本发明公开一种用于MOCVD与MBE晶圆互联的系统及方法，包括依次对接的MOCVD生长室、MOCVD过渡室、MOCVD传输室、第一腔室、第二腔室、第三腔室、CDC腔室和MBE生长室，相邻腔室间通过隔离阀进行隔离；利用第一机械手实现承载晶圆的...
该专利属于湖南烁科晶磊半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南烁科晶磊半导体科技有限公司授权不得商用。

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