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本技术提供了一种晶圆切边修整设备，包括主工艺区和控制系统，所述主工艺区包括：晶圆承载工作台、驱动主轴和与所述驱动主轴连接的切割刀片；所述控制系统控制所述驱动主轴和所述晶圆承载工作台；所述切割刀片包括主体部分和若干磨刃粒，所述主体部分为具有预...
该专利属于广州增芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州增芯科技有限公司授权不得商用。

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