下载弹性波装置以及弹性波装置的制造方法的技术资料

文档序号:43889611

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使相邻的谐振器彼此的频率特性均匀。弹性波装置具备多个谐振器。多个谐振器分别具备在第1方向上具有厚度的支承构件、设置在支承构件的第1方向的压电层、设置在压电层的第1方向的功能电极、以及设置在设置有谐振器的压电层的第1方向的保护膜。在支承构件中...
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