弹性波装置以及弹性波装置的制造方法制造方法及图纸

使相邻的谐振器彼此的频率特性均匀。弹性波装置具备多个谐振器。多个谐振器分别具备在第1方向上具有厚度的支承构件、设置在支承构件的第1方向的压电层、设置在压电层的第1方向的功能电极、以及设置在设置有谐振器的压电层的第1方向的保护膜。在支承构件中，在第1方向上俯视下至少一部分与功能电极重叠的位置有空间部。多个谐振器包括第1谐振器和与第1谐振器相邻的第2谐振器。保护膜的第1位置处的弹性模量与不同于第1位置的第2位置处的弹性模量不同。第1位置在第1方向上俯视下与第1谐振器的空间部重叠。第2位置在第1方向上俯视下与第2谐振器的空间部重叠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开涉及弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。

技术介绍

1、在专利文献1中记载了弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、在专利文献1所示的弹性波装置中，为了使频率特性均匀，有时通过加工装置调整保护膜的膜厚，使其成为与压电层的厚度对应的厚度。此时，在相邻的位置且压电层的厚度的差大的位置，为了使频率特性均匀，有时需要加工为超过加工装置能够应对的程度，并且保护膜的膜厚急剧变化。因此，与压电层的厚度对应的保护膜的膜厚调整变得困难，有可能难以使相邻的谐振器彼此的频率特性均匀。

3、本公开用于解决上述的问题，目的在于使相邻的谐振器或者弹性波装置彼此的频率特性均匀。

4、用于解决问题的手段

5、一个方式涉及的弹性波装置具备多个谐振器，所述多个谐振器分别具备：支承构件，在第1方向上具有厚度；压电层，设置在所述支承构件的所述第1方向；功能电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波装置，具备多个谐振器，

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1所述的弹性...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种弹性波装置，具备多个谐振器，

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

8.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：永友翔，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：