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本申请提供一种温度补偿型声表面波谐振器、滤波器及其制造方法，所述谐振器包括衬底、叉指换能器、反射栅区、第一负载结构、第二负载结构和温度补偿层；叉指换能器包括多个长指电极；反射栅区包括多个反射栅；第一负载结构设置于长指电极沿厚度方向远离衬底的...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

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