下载基板被覆抗蚀剂组合物和制造抗蚀剂图案的方法的技术资料

文档序号:43881320

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本发明提供了一种基板被覆抗蚀剂组合物,其包含具有特定结构的聚合物(A)和具有特定结构的光酸产生剂(B)。...
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