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基板被覆抗蚀剂组合物和制造抗蚀剂图案的方法技术
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文档序号:43881320
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本发明提供了一种基板被覆抗蚀剂组合物,其包含具有特定结构的聚合物(A)和具有特定结构的光酸产生剂(B)。...
该专利属于默克专利有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过默克专利有限公司授权不得商用。
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