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用于高级集成电路结构制造的具有钼衬层和钨填充物的导线制造技术
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下载用于高级集成电路结构制造的具有钼衬层和钨填充物的导线的技术资料
文档序号:43879537
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本公开的实施例涉及集成电路结构制造领域。在示例中,一种集成电路结构包括多条导线,所述多条导线的各条导线具有包括钼(Mo)的衬层以及包括钨(W)的填充物。所述集成电路结构还包括层间电介质(ILD)结构,所述ILD结构的一些部分位于所述多条导线...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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