下载解键合方法及解键合系统的技术资料

文档序号:43878983

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本申请涉及一种解键合方法及解键合系统。该方法包括:获取目标产品的边缘高度数据和中心高度数据;根据边缘高度数据和中心高度数据对目标产品进行区域划分,得到至少一个高度分区;控制激光光束沿预设轨迹对各高度分区进行扫描加工,以完成目标产品的解键合;...
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