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本申请提供了一种调节机构、半导体工艺设备，包括：安装法兰，固定设置于反应腔室；移动法兰，设置在安装法兰上并连接气体喷淋头；锁固件，与安装法兰和移动法兰连接，并能实现安装法兰和移动法兰之间的锁固和解锁；调节件，与安装法兰和移动法兰活动连接，并...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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