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一种芯片匀胶装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:43861191
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本发明提供了一种芯片匀胶装置及方法,属于半导体领域。该芯片匀胶装置包括承载台,用于承载芯片。夹持机构,配置于所述承载台,并与所述芯片活动连接。其中,所述夹持机构形成有放置区域,所述放置区域用于放置芯片,所述芯片的边缘与所述放置区域边缘处的夹...
该专利属于浙江珏芯微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江珏芯微电子有限公司授权不得商用。
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