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一种多层半导体封装组件、应力调节装置及其制造方法,应力调节装置包括半导体基板、形成在半导体基板的第一侧上方的第一绝缘层、形成在第一绝缘层上方的第二绝缘层、形成在半导体基板的第二侧上方的第三绝缘层、形成在第三绝缘层上方的第四绝缘层,以及形成在...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种多层半导体封装组件、应力调节装置及其制造方法,应力调节装置包括半导体基板、形成在半导体基板的第一侧上方的第一绝缘层、形成在第一绝缘层上方的第二绝缘层、形成在半导体基板的第二侧上方的第三绝缘层、形成在第三绝缘层上方的第四绝缘层,以及形成在...