温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种谐振器及其制备方法、滤波器，涉及半导体技术领域。该谐振器中在平行于衬底所在平面的方向上第一电极层和第二电极层位于压电层的两侧，形成一种横向三明治结构。现有技术中的纵向三明治结构可以理解为是面分布的结构，本申请中的横向三明治结...
该专利属于深圳新声半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳新声半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。