【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及一种谐振器及其制备方法、滤波器。
技术介绍
1、随着无线通信的迅猛发展，无线信号变得越来越拥挤，对工作在射频频段的谐振器提出了更高的要求。
2、目前现有技术中谐振器的下电极层、压电层和上电极层在垂直方向上依次层叠设置，形成一种纵向三明治结构，器件尺寸较大，不利于器件的小型化设计。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，本申请提供了一种谐振器及其制备方法、滤波器，实现减小谐振器尺寸，提高谐振器性能的目的。具体方案如下：
2、本申请第一方面提供一种谐振器，所述谐振器包括：衬底；
3、位于所述衬底一侧的压电层；
4、在第一方向上位于所述压电层两侧的第一电极层和第二电极层，所述第一方向平行于所述衬底所在平面；
5、其中，在第二方向上，所述第一电极层和所述第二电极层中的至少一层电极层与所述衬底之间存在间隔；所述第二方向与所述第一方向垂直。
6、优选的，在上述谐振器中，所述谐振器还包括：
7、钝化层...
【技术保护点】
1.一种谐振器，其特征在于，所述谐振器包括：衬底；
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器还包括：
3.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，在所述第二方向上，所述第一电极层和所述第二电极层中的其中一层电极层与所述衬底之间存在间隔，另一层电极层与所述顶部部分之间存在间隔。
4.根据权利要求3所述的谐振器，其特征在于，所述第一电极层包括第一电极部分和第二电极部分；
5.根据权利要求4所述的谐振器，其特征在于，所述顶部部分具有第一通孔；所述谐振器还包括：第一焊盘；
6.根据权利要求4所述的谐振器...
【技术特征摘要】
1.一种谐振器，其特征在于，所述谐振器包括：衬底；
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述谐振器还包括：
3.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，在所述第二方向上，所述第一电极层和所述第二电极层中的其中一层电极层与所述衬底之间存在间隔，另一层电极层与所述顶部部分之间存在间隔。
4.根据权利要求3所述的谐振器，其特征在于，所述第一电极层包括第一电极部分和第二电极部分；
5.根据权利要求4所述的谐振器，其特征在于，所述顶部部分具有第一通孔；所述谐...
【专利技术属性】
技术研发人员：王友良，冯端，
申请(专利权)人：深圳新声半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。