下载一种支架及腐蚀装置的技术资料

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本技术属于石英坩埚腐蚀加工设备技术领域,涉及一种支架及腐蚀装置。支架包括:承托件,承托件沿水平方向设置,承托件的一个端面为承托面;支撑件,支撑件沿竖直方向设置,多个支撑件沿承托件的外周壁间隔设置,承托面与多个支撑件围成放置区域;紧固件,至少...
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