一种支架及腐蚀装置制造方法及图纸

技术编号:43841778 阅读:13 留言:0更新日期:2024-12-31 18:37
本技术属于石英坩埚腐蚀加工设备技术领域,涉及一种支架及腐蚀装置。支架包括:承托件,承托件沿水平方向设置,承托件的一个端面为承托面;支撑件,支撑件沿竖直方向设置,多个支撑件沿承托件的外周壁间隔设置,承托面与多个支撑件围成放置区域;紧固件,至少一个紧固件连接在支撑件上,紧固件伸入放置区域内。本技术能够将底面为球冠形的石英坩埚以开口向上的状态固定在放置区域内,腐蚀加工时,散热效果好。石英坩埚的底面与承托件为点接触,石英坩埚的外侧壁通过多紧固件固定,坩埚内外腐蚀液能够畅通的流动,坩埚内外腐蚀均匀。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于石英坩埚腐蚀加工设备,涉及一种支架及腐蚀装置


技术介绍

1、腐蚀是石英坩埚生产工艺中的一个步骤,其目的是为了去除石英坩埚中的杂质。

2、现有技术中使用的石英坩埚腐蚀装置多为类圆柱体的聚四氟塑料桶。此塑料桶腐蚀底部为球冠形的石英坩埚时,只能侧放或者倒扣进行腐蚀,侧放时,为了减少酸的使用,腐蚀桶略比石英舟大,腐蚀时间较长,石英坩埚口与桶侧壁距离较近,散热不好,石英坩埚容纳腔内的温度较高,反应剧烈,石英坩埚损失较大,坩埚腐蚀加工后的使用寿命降低。倒扣时,石英坩埚容纳腔内散热效果更差。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题在于:提供一种支架及腐蚀装置,能够将底部为球冠形的石英坩埚以开口向上的状态进行腐蚀,散热效果好,坩埚内外腐蚀液畅通,腐蚀均匀。

2、本技术提出的技术方案为:

3、第一方面,本技术提供一种支架,包括:

4、承托件,承托件沿水平方向设置,承托件的一个端面为承托面;

5、支撑件,支撑件沿竖直方向设置,多个支撑件沿承托件的外周壁间隔本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种支架,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述承托件包括多根第一安装杆,多根第一安装杆沿承托件的中心点水平向外延伸。

3.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述承托件为板件,所述承托面的中心设置有承托杆。

4.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述紧固件为螺栓。

5.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述支撑件的数量为3~5根。

6.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述支撑件到水平支撑面的距离小于承托件到水平支撑面的距离。

7.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,...

【技术特征摘要】

1.一种支架,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述承托件包括多根第一安装杆,多根第一安装杆沿承托件的中心点水平向外延伸。

3.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述承托件为板件,所述承托面的中心设置有承托杆。

4.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述紧固件为螺栓。

5.根据权利要求1所述的支架,其特征在于,所述支撑件的数量为3~5根。

6.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员:顾小英赵青松牛晓东狄聚青张家瑛
申请(专利权)人:安徽光智科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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