下载存储器及其制备方法的技术资料

文档序号:43838136

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本申请提供一种存储器及其制备方法,涉及半导体器件的制造技术,制备方法包括:提供衬底,衬底包括沿平行于衬底顶面的第一方向间隔排布的第一区域、第二区域;衬底顶面包括部分位于第一区域内及部分位于第二区域内的介质层;于介质层上形成层间介电层;基于同...
该专利属于上海积塔半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海积塔半导体有限公司授权不得商用。

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