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公开了一种用于量测设备的照射模块。照射模块包括：可配置照射模块，能够操作以在可配置的照射角度范围内提供测量照射；光栅光阀模块，用于可控地配置测量照射的谱配置；以及控制器，能够操作以控制可配置照射模块和光栅光阀模块，使得测量照射的谱配置根据照...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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