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一种基板支撑组件包括板结构和绝缘体结构。板结构包括上板和下板。下板包括下板结构面。绝缘体结构设置在板结构下方。绝缘体结构包括下绝缘体结构表面和上绝缘体结构表面。上绝缘体结构表面的第一部分相对于上绝缘体结构表面的第二部分凹陷。上绝缘体结构表面...
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