专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
四川大学
>
一种基于随机分布微/纳米岛薄膜的光场探测器件制造技术
>技术资料下载
下载一种基于随机分布微/纳米岛薄膜的光场探测器件的技术资料
文档序号:43829792
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种基于随机分布微/纳米岛薄膜的光场探测器件,包括感光阵列层、透明保护窗和微/纳米岛薄膜层。该薄膜由形貌和尺寸随机分布的微/纳米岛组成,通过物理气相沉积技术形成均匀薄膜,并在特定温度下进行超过半小时的真空退火处理,利用表面张力生...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。