下载一种基于随机分布微/纳米岛薄膜的光场探测器件的技术资料

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本发明公开了一种基于随机分布微/纳米岛薄膜的光场探测器件,包括感光阵列层、透明保护窗和微/纳米岛薄膜层。该薄膜由形貌和尺寸随机分布的微/纳米岛组成,通过物理气相沉积技术形成均匀薄膜,并在特定温度下进行超过半小时的真空退火处理,利用表面张力生...
该专利属于四川大学所有,仅供学习研究参考,未经过四川大学授权不得商用。

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