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一种薄膜沉积装置，涉及半导体工艺设备技术领域。该薄膜沉积装置包括晶圆平台和加热平台，晶圆平台靠近加热平台的一面设有容置槽，加热平台可拆卸连接于容置槽内，且加热平台与晶圆平台相向设置的一面呈面接触，加热平台用于对晶圆平台加热。该薄膜沉积装置能...
该专利属于甬矽电子（宁波）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甬矽电子（宁波）股份有限公司授权不得商用。

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