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晶片吸附固定装置制造方法及图纸
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下载晶片吸附固定装置的技术资料
文档序号:43820686
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本技术提供了一种晶片吸附固定装置,包括底座、托盘,所述托盘设于底座上,底座上设有能够夹紧托盘的紧固组件;所述底座上设有负压接头和多个吸附阀门,每个吸附阀门的一端分别与负压接头连通;所述托盘的上表面设有晶片槽,托盘内设有吸附孔,晶片槽的底部与...
该专利属于北京兆维智能装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京兆维智能装备有限公司授权不得商用。
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