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本发明提供了一种金属钼的磷酸基蚀刻液，按质量百分数计，蚀刻液包括48%‑68%的电子级磷酸、2.0%‑5.5%的电子级硝酸、12%‑20%的电子级醋酸、0.02%‑0.07%的有机膦酸酯类添加剂、0.1%‑2.0%的钼蚀刻抑制剂和余量的去离...该专利属于湖北兴福电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北兴福电子材料股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种金属钼的磷酸基蚀刻液，按质量百分数计，蚀刻液包括48%‑68%的电子级磷酸、2.0%‑5.5%的电子级硝酸、12%‑20%的电子级醋酸、0.02%‑0.07%的有机膦酸酯类添加剂、0.1%‑2.0%的钼蚀刻抑制剂和余量的去离...