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本发明提供一种流量调整方法和基板处理装置，能够抑制多个液处理部之间的处理结果的偏差。流量调整方法是基板处理装置中的流量调整方法，基板处理装置具备向基板供给硫酸与过氧化氢的混合液来进行液处理的多个液处理部，流量调整方法包括以下工序：在从多个液...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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