温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种晶圆切割工程产品装载治具自动锁定控制系统,包括以下步骤:S1:晶圆装载待料;S2:加载晶圆装载治具;S3:晶圆装载治具自动锁定;S4:加载晶圆装载治具信息;S5:晶圆装载治具识别单元;S6:设备解锁。本发明在晶圆装载治具的底部...该专利属于海太半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海太半导体(无锡)有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种晶圆切割工程产品装载治具自动锁定控制系统,包括以下步骤:S1:晶圆装载待料;S2:加载晶圆装载治具;S3:晶圆装载治具自动锁定;S4:加载晶圆装载治具信息;S5:晶圆装载治具识别单元;S6:设备解锁。本发明在晶圆装载治具的底部...