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本发明公开了一种用于提高金属陶瓷表面涂层性能的混合等离子刻蚀方法，使用氩气和氮气的混合气体作为放电气体对涂层前的TiCN基金属陶瓷进行混合等离子刻蚀处理，氩气和氮气的气体流量比例为1:1，等离子刻蚀处理过程中，总体腔压为1～2Pa，采用的等...
该专利属于四川大学所有，仅供学习研究参考，未经过四川大学授权不得商用。

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