一种用于提高金属陶瓷表面涂层性能的混合等离子刻蚀方法技术

本发明专利技术公开了一种用于提高金属陶瓷表面涂层性能的混合等离子刻蚀方法，使用氩气和氮气的混合气体作为放电气体对涂层前的TiCN基金属陶瓷进行混合等离子刻蚀处理，氩气和氮气的气体流量比例为1:1，等离子刻蚀处理过程中，总体腔压为1～2Pa，采用的等离子体由涂层炉离子源阴极产生的电子流将炉内气体电离而产生，阴极灯丝电流为180‑220A，阳极引导电流为160‑200A，施加‑200～‑400V偏压，刻蚀时间1小时；然后在刻蚀处理后的TiCN基金属陶瓷表面制备CrAlN涂层。本方法同时兼具氩离子的刻蚀效果和氮离子的渗氮效果，在不影响涂层整体效率的情况下，经该方法刻蚀后的CrAlN涂层具有超过130N的结合强度和更好的耐磨性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及金属陶瓷，尤其是一种用于提高金属陶瓷表面涂层综合性能的混合等离子刻蚀方法。

技术介绍

1、ticn基金属陶瓷是以ticn作为硬质相，以ni/co作为粘接剂，并添加mo2c、wc等元素进行组织调控，利用粉末冶金方法制备的一种具有良好红硬性的耐磨材料。目前愈发广泛的应用在刀具加工行业，适合半精和精加工用，是硬质合金刀具的理想替代产品。随着新材料的不断涌现，其强度硬度等性能有大幅度的提高，对刀具材料的要求也更加严苛。高速加工以及以切代磨的切削加工成为加工领域的发展新方向。更难加工的材料和更高的加工要求，对加工刀具提出了更高的要求。因此，为满足目前加工行业的发展要求，90％以上为涂层刀具，用以提高刀具的加工性能和使用寿命。

2、然而，由于ticn金属陶瓷刀具具有较多的第二相添加物，其加大了基体和涂层间的错配度，涂层与金属陶瓷基体间的结合力不高。因此市面上的ticn金属陶瓷刀具多为未涂层刀具或仅做简单的tin涂层，而没有像硬质合金刀具那样有tial系、cral系和tisi系等不同元素品类和不同结构的多种涂层。由于缺少涂层的特殊保护，大大限制本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于提高金属陶瓷表面涂层性能的混合等离子刻蚀方法，其特征在于，使用氩气和氮气的混合气体作为放电气体对涂层前的TiCN基金属陶瓷进行混合等离子刻蚀处理，氩气和氮气的气体流量比例为1:1，然后在刻蚀处理后的TiCN基金属陶瓷表面制备CrAlN涂层。

2.如权利要求1所述的用于提高金属陶瓷表面涂层性能的混合等离子刻蚀方法，其特征在于，等离子刻蚀处理过程中，总体腔压为1～2Pa，采用的等离子体由涂层炉离子源阴极产生的电子流将炉内气体电离而产生，阴极灯丝电流为180～220A，阳极引导电流为160～200A，施加-200～-400V偏压。

3.如权利要求2所述的用于...

【技术特征摘要】

1.一种用于提高金属陶瓷表面涂层性能的混合等离子刻蚀方法，其特征在于，使用氩气和氮气的混合气体作为放电气体对涂层前的ticn基金属陶瓷进行混合等离子刻蚀处理，氩气和氮气的气体流量比例为1:1，然后在刻蚀处理后的ticn基金属陶瓷表面制备craln涂层。

2.如权利要求1所述的用于提高金属陶瓷表面涂层性能的混合等离子刻蚀方法，其特征在于，等离子刻蚀处理过程中，总体腔压为1～2pa，采用的等离子体由涂层炉离子源阴极产生的电子流将炉内气体电离而产生，阴极灯丝电流为180～220a，阳极引导电流为160～200a，施加-200～-400v偏压。

3.如权利要求2所述的用于提高金属陶瓷表面涂层性能的混合等离子刻蚀方法，其特征在于，混合等离子刻蚀时间为...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘俊波，熊计，陈诚，郭智兴，李相容，高栗寒，田斌，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：发明
国别省市：