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一种用于等离子体处理室的易耗部件包含面向等离子体侧。工程化表面被形成于所述易耗部件的所述面向等离子体侧中。多个凸起特征限定所述工程化表面，其中特征按预定图案设置，其中所述多个凸起特征中的每一者包含顶部区域，所述顶部区域具有外缘和侧壁。所述工...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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