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本申请公开了一种晶圆位置检测装置及半导体设备，晶圆位置检测装置的第一环形滑轨和第二环形滑轨相对的设置于半导体腔室的上下两侧；线性传感器发射端与第一环形滑轨滑动连接，线性传感器接收端与第二环形滑轨滑动连接；且线性传感器发射端在晶圆的正投影以及...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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