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本技术公开了一种基于脉冲调制技术的薄膜沉积射频装置，涉及薄膜沉积射频技术领域，包括装置柜组和辅助组件，所述装置柜组的底部左右两侧对称安装有三角架，且三角架靠近装置柜组垂直中轴线的一些安装有移动组件，而且装置柜组的顶部安装有射频组件，所述辅助...
该专利属于苏州光筑激光设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州光筑激光设备有限公司授权不得商用。

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