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本申请提供一种射频系统，用于等离子刻蚀设备，所述射频系统包括：射频发生器，用于产生射频信号；阻抗匹配器，与所述射频发生器信号连接，用于接收、传输所述射频信号并根据所述射频信号自修改匹配阻抗；线圈组，用于接收所述阻抗匹配器传输的所述射频信号并...
该专利属于北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司授权不得商用。

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