下载半导体设备和用于制造该半导体设备的方法的技术资料

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本公开涉及半导体设备和用于制造该半导体设备的方法。一种半导体设备包括:衬底,其包括核心区域和外围区域;第一导电图案,其包括在核心区域的衬底上方的栅极介电层和栅极电极的堆叠结构,并且包括插入在栅极介电层与栅极电极之间的界面处的高k层;以及第二...
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