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本申请适用于半导体集成电路测试技术领域，提供了一种晶圆级超声波芯片的测试方法、测试装置及测试系统，该方法包括在探针卡上距离探针的针尖平面预设距离处未设置可拆卸挡板时，测量待测芯片的第一回波峰峰值，第一回波峰峰值为待测芯片的对空回波峰峰值，探...
该专利属于深圳米飞泰克科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳米飞泰克科技股份有限公司授权不得商用。

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