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本发明公开了一种功率器件的金属结构,形成于底层结构的表面,至少在第一区域中,金属结构包括由n层金属子层的叠加形成的第一叠加结构,n为大于等于2的整数。第一叠加结构的边缘区域的结构包括:各层金属子层都具有刻蚀台阶。第k+1层金属子层的刻蚀台阶...该专利属于深圳尚阳通科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳尚阳通科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种功率器件的金属结构,形成于底层结构的表面,至少在第一区域中,金属结构包括由n层金属子层的叠加形成的第一叠加结构,n为大于等于2的整数。第一叠加结构的边缘区域的结构包括:各层金属子层都具有刻蚀台阶。第k+1层金属子层的刻蚀台阶...