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光检测装置的制造方法、及光检测装置制造方法及图纸
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下载光检测装置的制造方法、及光检测装置的技术资料
文档序号:43612084
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光检测装置的制造方法具备:第一工序,准备具有第一主面及第二主面的半导体晶圆;第二工序,在第一主面设置第一支撑基板;第三工序,在第一主面设置有第一支撑基板的状态下,切断半导体晶圆及第一支撑基板,在第一表面设置有支撑构件的状态下,得到受光元件;...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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