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本公开涉及半导体技术领域，特别地涉及一种载具更换的控制方法、控制装置、计算机设备和存储介质，控制方法用于连续处理的第一分选站点、第二工艺站点和第三分选站点，包括：根据所述第一分选站点的站点属性给目标批次的晶圆进行第一标识之后，所述第一分选站...
该专利属于珠海格力电子元器件有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海格力电子元器件有限公司授权不得商用。

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