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识别了与针对基板的第一层执行的第一工艺相关联的第一数据。将根据第二工艺进一步处理第一层。将第一数据作为输入提供到机器学习模型，该机器学习模型经训练为预测在制造系统处针对基板的层的计量测量值。决定了在完成第一工艺及/或第二工艺之后针对第一层的...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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