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一种用于过滤带电粒子束检测器中的误报的方法包括：利用检测器上检测到的带电粒子着陆事件的空间信息。检测器上检测到的带电粒子着陆事件的空间分布与着陆事件的预期分布进行比较，以确定带电粒子着陆事件是真实的概率。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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