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本技术公开了一种反应腔的红外测温仪的安装结构及沉积设备，涉及沉积设备技术领域。反应腔包括顶板和设于顶板内的顶部盖板，红外测温仪设于顶板上，用于检测顶部盖板的温度。反应腔的红外测温仪的安装结构包括安装底座和固定压紧件，顶板上设置有安装孔，安装...
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