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实现例提供一种基板夹具及利用此的基板传送方法，所述基板夹具包括：框架及多个垫孔，所述多个垫孔与所述框架连接；及多个吸附垫，配置在所述框架，并且分别与所述垫孔连接；其中，所述吸附垫具有接触面，所述接触面在安装对象基板时与对象基板的一面接触。其...
该专利属于爱玻索立克公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱玻索立克公司授权不得商用。

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