基板夹具及利用此的基板传送方法技术

实现例提供一种基板夹具及利用此的基板传送方法，所述基板夹具包括：框架及多个垫孔，所述多个垫孔与所述框架连接；及多个吸附垫，配置在所述框架，并且分别与所述垫孔连接；其中，所述吸附垫具有接触面，所述接触面在安装对象基板时与对象基板的一面接触。其中，所述多个吸附垫包括：第一吸附垫，在未支撑对象基板的状态下，在第一高度具有接触面；及第二吸附垫，在未支撑对象基板的状态下，在第二高度具有接触面；以所述框架为准，所述第一高度高于所述第二高度。据此，即使对象基板出现一定程度的翘曲现象，也可稳定吸附及支撑基板。另外，所述基板夹具为，垂直方向夹持力及水平方向夹持力大，因此可稳定吸附及支撑对象基板。

【技术实现步骤摘要】

实现例涉及传送翘曲的基板的一种基板夹具及利用此的基板传送方法。

技术介绍

1、基板夹具是适用于基板传送装置起到固定对象基板的作用的结构。此时，大多情况是对象基板是对于物理性接触敏感的基板，诸如半导体晶片、显示面板等。

2、基板夹具也尝试缩小与对象基板接触的面积。然而，若基板夹具缩小与对于对象基板的接触面积，则削弱夹持力，并且可降低基板传送工作的稳定性。

3、在基板夹具与对象基板的接触面积小的情况下，诸如玻璃基板的大面积基板，在与基板夹具未接触的面经常出现基板的翘曲现象。在这种情况下，出现真空吸附垫与对象基板未接触的部位，因此真空泄漏的可能性大。

4、上述的
技术介绍
作为专利技术人为了导出本专利技术的而具备的或者在导出本专利技术的过程中掌握的技术信息，不一定要认为是在本案申请之前对普通大众公开的公知技术。

5、现有技术文献

6、专利文献

7、专利文献1韩国公开专利第10-2008-0076895号

8、专利文献2韩国授权专利第10-1019948号

<p>9、专利文献3韩本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基板夹具，包括：

2.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的基板夹具，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

10.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

11.根据权利...

【技术特征摘要】

1.一种基板夹具，包括：

2.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

7.根据权利要求1所述的基板夹具，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的基板夹具，其特征在于，

9.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：林彩默，李宰源，
申请(专利权)人：爱玻索立克公司，
类型：发明
国别省市：

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