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本发明属于半导体技术领域，更具体地说，是涉及一种遮挡盘检测装置及物理气相沉积设备。其中，遮挡盘检测装置包括：检测组件、第一驱动机构和控制器，检测组件包括第一传感器组，第一传感器组用于检测存放腔室内的遮挡盘，第一驱动机构与第一传感器组相连，第...
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