下载用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法的技术资料

文档序号:43537472

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本发明公开了用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法,在线检测设备将供体薄膜的厚度检测装置集成到激光诱导转移装置中,实现供体薄膜厚度的原位检测,省略了在激光转移前需将供体薄膜在外部独立的检测设备进行厚度测定的步骤。得益于厚度检测装...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。

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