用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法技术

本发明专利技术公开了用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法，在线检测设备将供体薄膜的厚度检测装置集成到激光诱导转移装置中，实现供体薄膜厚度的原位检测，省略了在激光转移前需将供体薄膜在外部独立的检测设备进行厚度测定的步骤。得益于厚度检测装置和激光诱导转移装置的集成，使得利用本设备的激光诱导转移过程可以在转移前或转移中，根据供体薄膜的实际厚度快速调节转移激光的加工参数，以确保激光诱导转移的转移质量。另外，本方案还提出了一种使用上述在线检测设备的方法，在激光转移过程中持续开启监测激光，通过在激光转移过程中对供体薄膜厚度进行在线检测，从而实时调整转移激光的加工参数，能有效兼顾加工效率和转移效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光诱导转移，尤其涉及一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备及方法。

技术介绍

1、激光诱导转移技术(laser induced forward transfer，简称lift)是一种利用激光作为驱动力，将材料从供体基片转移到受体基片的微加工技术。这项技术具有非接触式加工、加工精度高、适应性强等优点，适用于集成电路加工与修复、微型光电器件制备、微生物制作等领域。

2、激光诱导转移技术的基本过程包括：使用高能量脉冲激光照射镀有材料薄膜的透明衬底(即供体基片)，激光透过透明衬底聚焦到透明衬底与材料薄膜的交界面上，令脉冲激光的激光能量被材料薄膜吸收后并转化为热量，从而使得局部的材料薄膜区域发生变形，并最终在汽化压力、表面张力等的综合作用下形成喷射液滴并离开材料薄膜(下称“供体薄膜”)表面，沉积到受体基片上形成二维或三维金属转移结构。激光诱导转移技术不仅可以处理固体薄膜，也可以处理金属颗粒浆料薄膜等液体薄膜，因此可用于多种材料的打印，包括金属、金属氧化物、半导体、超导体等。

3、在转移过程中，供体薄膜的厚度会显著影响本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在于，包括监测激光器、监测整形装置、偏振分光聚集装置、转移激光器、转移整形装置、二向色镜、光电探测器和滤波片；

2.根据权利要求1所述的一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在于，所述光电探测器包括光电二极管和光电倍增管中的任意一种，所述偏振光处理器包括半波片、偏振分光棱镜、格兰泰勒棱镜、沃拉斯顿偏振棱镜和洛匈偏振棱镜中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在于，所述监测整形装置还包括准直镜、扩束镜、缩束镜和光闸中的任意一种或多种的...

【技术特征摘要】

1.一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在于，包括监测激光器、监测整形装置、偏振分光聚集装置、转移激光器、转移整形装置、二向色镜、光电探测器和滤波片；

2.根据权利要求1所述的一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在于，所述光电探测器包括光电二极管和光电倍增管中的任意一种，所述偏振光处理器包括半波片、偏振分光棱镜、格兰泰勒棱镜、沃拉斯顿偏振棱镜和洛匈偏振棱镜中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在于，所述监测整形装置还包括准直镜、扩束镜、缩束镜和光闸中的任意一种或多种的组合。

4.根据权利要求1所述的一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在于，所述转移整形装置还包括准直镜、扩束镜、缩束镜、光闸、声光调制器、扫描振镜和快反镜中的任意一种或多种的组合。

5.根据权利要求1所述的一种用于激光诱导转移的供体薄膜厚度的在线检测设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙江游，严永康，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：