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本发明提供一种衬套组件及具有该衬套组件的半导体外延设备，包括：上环体，所述上环体包括凸台；下环体，所述下环体包括凹口，所述凹口与所述上环体的所述凸台相适配；所述下环体设置于所述上环体下方，所述上环体和所述下环体之间在第一方向上形成气体通道；...
该专利属于江苏天芯微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天芯微半导体设备有限公司授权不得商用。

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